往復式真空泵（簡稱往復泵）又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設備之一。它與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵；與水環式真空泵相比，效率稍高。這類泵的主要缺點是結構復雜，體積較大，運轉時振動較大等。其在很多場合可由液環式真空泵所取代。

往復式真空泵的工作原理：

往復泵的結構和工作原理如圖所示，主要部件有氣缸1及在其中做往復直線運動的活塞2，活塞的驅動是用曲柄連桿機構3（包括十字頭）來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。

運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時被抽容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到最右位置時，氣缸左腔內就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關閉。氣缸內的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓力達到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環。當活塞再左向右運動時，又重復前一循環，如此反復下去，被抽容器內最終達到某一穩定的平衡壓力。

為提高抽氣效率，一般在氣缸的兩端均設有吸氣閥和排氣閥，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯起來。