由于真空設備長期運轉及其它一些因素的影響，擴散泵的性能可能會逐漸變壞，現將使用中經常出現的一些問題如述如下;

1)極限真空變低，原因：

a.系統中有滲漏；

b.系統太臟；

c.泵油污染；

d.加熱功率不夠；

e.冷卻水不足；

f.過量或過冷的冷卻水；

g.前級壓力高；檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象；

h.快冷管內有水。

2) 抽氣較慢，原因：

a.加熱功率低；

b.油量不足；

c.噴帽安裝位置不當或受損。

3)進口壓力波動，原因：

a.加熱器輸入功率不當；

b.油脫氣；四五設計網www.45te.com

c.擴散泵進口前面系統有滲漏。

4)工作腔污染大，原因：

a.前級壓力高；

b.在高于10-1Pa壓力下長期工作；

c.系統操作有誤。九牛自學網www.9npx.com

5) 返油率過大，原因：

a. 頂噴嘴帽松動，間隙過大；

b. 加熱功率不對；