退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑，將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長的薄膜的狀態，修復注入的損傷，移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。那么退火爐的操作規程有哪些？

退火爐的操作規程：

一、 退火爐裝爐前的檢查和準備工作

1、檢查冷卻循環水系統是否正常，進水、回水閘門是否打開。流經循環風機、爐門的冷卻水是否暢通，有無漏水現象，冷卻水壓力是否達到0.1～0.3Mp，水溫低于25℃，水量是否合適。

2、檢查風壓系統是否正常，管道有無漏氣現象，風壓是否達到0.4～0.6Mp，爐門氣缸工作是否正常。

3、檢查電氣設備、儀表工作是否正常，熱電偶是否完好，有無短路現象，測溫是否準確。

4、檢查爐門提升機構工作是否正常，鏈條、鋼絲繩有無損壞、斷絲。爐門升降應無卡阻、碰撞現象，機構動作必須靈活，爐門安全銷伸縮自如，上下行程開關工作靈敏可靠。

5、檢查循環風機、吹洗風機軸承潤滑是否良好，轉動是否正常，有無雜音。

6、清除爐子周圍的障礙物、易燃物。將爐膛內、鋁卷、小車及小車軌道內的鋁屑、臟物清掃干凈。

二、退火爐進出爐操作規程

1、裝爐前應按生產工藝卡片要求，認真核對帶卷或垛板的合金牌號、批號、規格、狀態、重量，按要求填寫記錄。

2、裝料時一定要裝正，帶卷上下左右前后基本對稱，卷與卷之間間隙基本一致，不允許超重、超長、超寬、超高。退火時卷與卷、垛與垛的重量差要盡量小（卷與卷的重量差小于1 T，垛與垛的重量差小于0.5T）。特殊情況時，考慮裝爐的經濟性，可將不同厚度、不同重量的成品裝在一爐內退火，但必須分區控制溫度，有重量差時應將熱電偶插在小卷或小垛上。

3、正確安插熱電偶。熱電偶的安插深度為：卷材25～30mm，板材≮50mm。其安插位置必須位于卷或垛的中心位置，并要求安插牢靠，不漏氣，無短路現象。

4、打開爐門。首先松開爐門壓緊裝置，將爐門提升到上極限位置，并插好安全銷。

5、進爐過程。

（1）10T爐應先把小車和料車間的銷子插好，然后開動小車，把料車推進爐膛內，等料車到位停穩后拔出銷子，最后把小車開出爐膛停在原定的位置上。

（2）20T爐應先接通卸料車電源，啟動油泵電機，用頂升機構將裝有工件的料盤頂升到上限位，然后把卸料車開入爐膛內到正確位置，并將料盤放在爐膛內的立柱上，待料盤放穩后，把卸料車開出爐膛外停在原定的位置上，并關停油泵及卸料車電源。

6、關閉爐門。等小車停穩后，拔出爐門安全銷，降下爐門到下極限位，并用氣缸壓緊爐門。爐門壓緊應均勻、密封，無明顯漏氣現象。

7、出爐過程與進爐過程的操作程序相反。

三、退火爐溫控系統操作規程

1、應先確認爐門關閉密封完好，檢查電氣系統正常后，方可操作。

2、先逐個啟動每區的軸流風機。

3、啟動每區的循環風機，等到電機電流穩定后，再啟動另一臺風機，保證每一區的風機穩定運轉。

4、按生產工藝卡片的工藝要求，在溫控智表上輸入工藝控制參數。

5、打開排煙閥門，啟動吹洗風機。（10T爐排煙道無閥門）

6、接通加熱器的電源開關，按規定的溫度曲線進行控制退火。

7、退火過程中要經常檢查電器、機械運轉情況，如加熱器、循環風機、軸承等。

8、退火過程中注意各區的金屬溫升情況，操作手可根據具體情況小范圍調整爐氣溫度（一般在±10℃左右），保證每區的溫度大到一致。

9、若在規定時間內，金屬溫度超過金屬溫限上限，可適當冷卻，若未達到金屬溫下限，則可延長保溫時間，直到達到金屬溫限。

10、退火結束后，依次停加熱器、軸流風機、吹

風機、循環風機。打開爐門出爐。

以上就是有關退火爐操作規程這方面常識的介紹，希望這些小常識可以對您有幫助.